濺鍍2號機
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規格介紹:
In-line Sputter 1
規格介紹:In-line Sputter 1
Provision the service of sputtering
✓ ISO 14644-1：Class 1000無塵室
✓ 符合ISO 9001:2015標準作業程序
✓ 提供專業功能性貴金屬濺鍍
詳細介紹:
適用基質 | 金屬、陶瓷、矽、玻璃、PI Film |
電漿清潔 | O2、N2 |
有效鍍膜長度 | 680mm |
有效鍍膜寬度 | 400mm |
鍍膜方式 | 直流磁控濺鍍 |
濺鍍源數量 | 4支 |
厚度規格 | 規格值±10% |
極限真空(Torr) | 3.0*10-6 Torr |
