適用基質

金屬、陶瓷、玻璃、PI Film、SiC wafer、Si wafer、oxide wafer、治具...等，歡迎來電／信詢問。

 電漿清潔

 O2、N2、Ar

 有效鍍膜長度

 680mm

 有效鍍膜寬度

 400mm

 鍍膜方式

 直流磁控濺鍍

 濺鍍源數量

 4支

 厚度規格

 規格值±10%

 極限真空(Torr)

 3.0*10-6 Torr