NiCo合金微圓柱陣列|精微模仁與半導體微結構製作

商品名稱:

NiCo合金微圓柱陣列

規格介紹:

高精度微結構製作|支援精微模仁與半導體應用

透過黃光微影結合電鍍/電鑄製程,於基板上製作高密度、規則排列的 NiCo(鎳鈷)合金微圓柱陣列。

NiCo 合金具備良好的機械強度、硬度與耐磨耗特性,適合應用於精微模仁、微結構複製、半導體微結構、微型元件及相關研發驗證。可依產品圖形、尺寸、排列方式與材料需求,提供客製化製程評估。

詳細介紹:

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目前可製作規格
項目規格
材料NiCo鎳鈷合金
圓柱直徑Ø20 μm
圓柱高度30 μm
柱間距25 μm,圓柱邊緣至邊緣
中心距45 μm
排列方式規則陣列
其他尺寸歡迎提供圖面洽詢評估

圖示及上述數據為目前可製作規格案例。

實際可製作尺寸、公差、結構高度、排列密度及基板條件,須依圖面與產品需求進行製程評估。

產品特色

【微米級結構製作】

結合黃光微影與金屬沉積技術,可製作尺寸細微、排列規則的微圓柱與陣列結構。

NiCo合金結構

NiCo 合金兼具金屬強度、硬度及耐磨耗特性,可應用於需具備結構支撐或重複使用需求的微型元件與模仁。

高深寬比結構

可依圓柱直徑、高度及柱間距需求,評估光阻厚度、圖形解析度、電鍍條件與結構完整性。

圖形與尺寸客製化

除圓柱陣列外,也可依需求評估不同直徑、高度、間距、排列密度、陣列範圍及特殊微結構圖形。

製程整合服務

可依專案需求整合基板前處理、濺鍍、黃光微影、電鍍/電鑄、去光阻、種子層移除及尺寸檢測等製程。

應用領域

【精微模仁與微成型】

 NiCo 微圓柱陣列可作為精微模仁或微結構複製的母模結構,應用於:

  ● 微孔陣列成型
  ● 精微射出與壓印模仁
  ● 微結構複製
  ● 微流道及微型元件
  ● 高分子材料微成型
  ● 客製化精微金屬模具

【半導體與先進封裝】

 可依產品設計應用於:

  ● 晶圓級微金屬結構
  ● 金屬微柱與電極陣列
  ● 微型接點結構
  ● 探針及測試介面相關結構
  ● MEMS微機電元件
  ● 感測器微結構
  ● 先進封裝研發與製程驗證

可客製評估項目

  • 若有不同規格需求,歡迎提供圖面或以下資訊,以利進行製程評估:

    •   ● 基板材質及尺寸
    •   ● 圓柱直徑
    •   ● 圓柱高度
    •   ● 柱間距定義(邊緣距或中心距)
    •   ● 陣列排列方式
    •   ● 圖形總面積
    •   ● 尺寸及高度公差
    •   ● NiCo 合金成分需求
    •   ● 後續成型或使用方式
    •   ● 測試、打樣或量產數量
如有 NiCo 合金微圓柱、微孔、微結構陣列或精微模仁製作需求,歡迎提供產品圖面與規格。我們將依結構尺寸、材料、基板及應用條件,協助評估合適的製程方案。