● 自動化的目標物對位及對焦
　○ 量測精度：±0.1 μm
● 可同時量測 600 個位置
● 最多可一次量測 1000 個相同目標物
● 超高精細2000萬畫素CMOS感測器
　○ 可拍出更大視野的高解析度影像
● 高解析度、高倍率鏡頭
● 大型載物台：最大量測尺寸為125 × 225 mm，高度為 75 mm。