高解析度量測顯微系統，可快速取得樣品的外觀影像與精準尺寸。
具備自動對焦與多尺寸量測功能，可穩定量測微小結構、孔徑、寬度與高度差。
非接觸式量測方式，可避免刮傷精密樣品並確保量測再現性。