● 測定元素範圍
　○ 鋁(Al13)~鈾(U92)
● 定量分析功能：
　○ 電鍍膜厚測定
　○ 薄膜分析檢量線法(可針對單層、雙層或多元合金單層膜厚)
　○ 薄膜分析FP法(最高一次分析五層)
● 定性分析功能：
　○ 元素分析
　○ 能譜比對
● 多毛細管聚焦式X射線管(Polycapillary)與Vortex SDD(Hitachi專利，多陰極矽半導體檢測器)
● 微米等級高解析度影像觀察系統。
● X光(能量分散型)膜厚機，利用特徵波長量測金屬膜厚或塊體成份組成