● 具高倍數位顯微鏡檢視、影像存檔，線寬及面積量測，3D掃描等功能
● 最高解析度：1um（線寬、線距、深度）

高解析度的非接觸式 3D 量測設備，可精準取得樣品表面的高度、粗糙度與形貌資訊。
搭載多波長雷射，無論高反光金屬或透明材質皆能穩定量測。
具備奈米級 Z 軸解析度，適合分析刮痕、凹坑、鍍層不均等微小缺陷。