【材料開發中 · 可合作送樣測試】

本材料目前仍屬測試與開發階段，已於矽晶圓上進行氮化矽材料塗佈之相關製程評估，並開放與合作夥伴進行送樣測試與應用驗證。

透過氮化矽材料之製程調整與塗佈條件優化，本次測試結果顯示整體潔淨度相較先前已有明顯改善，製程穩定性亦同步提升。

目前仍可觀察到少量 particle 產生，主要原因為現階段尚未配置光阻塗佈（Spin Coating）系統，僅能以化學方式進行前處理，對整體潔淨環境仍有一定影響。

在不同塗佈模式下進行評估後，三種塗佈方式皆呈現出不同程度之表面效果與潔淨表現，可依實際應用需求進行選擇與後續優化。

後續亦將同步與合作夥伴於外部端推進材料應用測試，待條件成熟後再進行進一步送樣與驗證，以持續優化整體製程表現。